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表1 性能概要
記号 項目 条件 定格値 単位
S 主軸感度 Ta=-30〜+85℃ 102.0±5.1
(1000±50)
mV/(m/s2)
(mV/g)
Vo オフセット電圧 Ta=25℃、Acc=0m/s2 2.5±0.2 V
ΔVo オフセット電圧温度変化量 Ta=-30〜+85℃、Acc=0m/s2 -1.5〜+1.5 mV/℃
So/S 他軸感度 Ta=25℃ max 5 %
Lo 出力リニアリティ Ta=25℃ -2〜+2 %F.S.

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