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半導体加速度センサ
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表1 性能概要
記号
項目
条件
定格値
単位
S
主軸感度
Ta=-30〜+85℃
102.0±5.1
(1000±50)
mV/(m/s2)
(mV/g)
Vo
オフセット電圧
Ta=25℃、Acc=0m/s2
2.5±0.2
V
ΔVo
オフセット電圧温度変化量
Ta=-30〜+85℃、Acc=0m/s2
-1.5〜+1.5
mV/℃
So/S
他軸感度
Ta=25℃
max 5
%
Lo
出力リニアリティ
Ta=25℃
-2〜+2
%F.S.
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