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概要 |
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近年、液晶プロジェクタ,カーナビゲーションなど民生用途に半導体加速度センサの需要が増加しています。今回ご紹介するのは、民生用途向けに開発しました半導体加速度センサ
MAS1390Pです。
加速度を検出するセンサ素子構造体の加工方法(エッチング)を現行品のウエットからドライ加工に変更することで高精度化および小型・低価格化を実現しています。 |
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特長 |
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高精度化
バルクマイクロマシニング技術により製作された小型・高感度のセンサチップに加え、微小の容量変化を高精度に検出する信号処理回路技術で高性能化を図り、当社従来製品と比較して加速度検出誤差および、オフセット電圧の温度ドリフト量を1/2以下とし、業界最高水準の性能を実現。
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低価格化
低応力パッケージング技術により、センサ素子と信号処理用ASICの2チップをプラスチックでモールドすることで低価格化を実現。 |
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調整不要
出力特性は、ASICに内蔵のトリミング機能により高精度に調整されているため、無調整でそのまま使用可能。 |
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電源レシオメトリック性
出力特性は電源電圧に比例するので、電源をマイコンなどのA-D変換回路の基準電圧と共通にすることで、基準電圧の変動による誤差をキャンセルすることが可能。 |
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用途 |
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液晶プロジェクタ、カーナビゲーション、傾斜計、産業機器の振動計測、コンピュータ周辺機器、モーションキャプチャ、HMD(ヘッドマウントディスプレイ)、アミューズメント機器などに最適です。
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今後の展開 |
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センサ素子を小型化したVA版を開発中です。 |
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